NH4Oh-based etchants for silicon micromachining

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标题	NH4Oh-based etchants for silicon micromachining 用于硅微加工的NH4Oh基蚀刻剂相关领域制作材料科学单晶硅硅氢氧化铵纳米技术光电子学化学无机化学医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1016/0924-4247(90)87084-v
DOI	10.1016/0924-4247(90)87084-v doi
其它	期刊：Sensors and actuators. A, Physical 作者：Uwe Schnakenberg; W. Benecke; D. Löchel 出版日期：1990-04-01
求助人	Gabvin 在 2024-05-11 08:51:01 发布自广东，悬赏 10 积分
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