标题 |
Suppression of Anomalous Gate Edge Leakage Current by Control of Ni Silicidation Region using Si Ion Implantation Technique
用Si离子注入技术控制Ni硅化区抑制栅边异常漏电流
相关领域
材料科学
CMOS芯片
光电子学
离子注入
静态随机存取存储器
泄漏(经济)
硅化物
GSM演进的增强数据速率
MOSFET
电流(流体)
硅
电子工程
电气工程
离子
晶体管
电压
化学
计算机科学
工程类
宏观经济学
经济
有机化学
电信
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Tadashi Yamaguchi; Keiichiro Kashihara; T. Okudaira; Toshihiko Tsutsumi; Kazuyoshi Maekawa; et al 出版日期:2006-01-01 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|