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标题
Some results on chemical etching of AT-cut quartz wafers in ammonium bifluoride solutions
氟化氢铵溶液中AT切割石英晶片化学腐蚀的一些结果
相关领域
活化能 溶解 蚀刻(微加工) 石英 阿累尼乌斯方程 阿伦尼乌斯图 材料科学 氟化物 动力学 无机化学 矿物学 化学 物理化学 图层(电子) 复合材料 物理 量子力学
网址
DOI
10.1007/bf00752244 doi
其它 期刊:Journal of Materials Science
作者:C. R. Tellier
出版日期:1982-05-01
求助人
xiaoluo 在 2024-08-29 13:32:45 发布自江苏,悬赏 10 积分
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