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Oxygen vacancy-passivated ZnO thin film formed by atomic layer deposition using H2O2
H2O2原子层沉积制备氧空位钝化ZnO薄膜
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Yue Wang; Kyung Mun Kang; Minjae Kim; Hyung Ho Park 出版日期:2018-03-19 |
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