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 First Monolithic Integration of 3D Complementary FET (CFET) on 300mm Wafers 三维互补场效应晶体管（CFET）在300mm晶片上的首次单片集成
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期刊： 作者：Sharath Subramanian; Motaharesadat Hosseini; T. Chiarella; Santonu Sarkar; P. Schuddinck; et al 出版日期：2020-06-01 |
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