Damage and removal behaviors of indium phosphide crystals involved in ultrasonic vibration-assisted AFM machining

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标题	Damage and removal behaviors of indium phosphide crystals involved in ultrasonic vibration-assisted AFM machining 超声振动辅助AFM加工中磷化铟晶体的损伤和去除行为相关领域材料科学超声波传感器机械加工原子力显微镜复合材料磷化铟铟冶金纳米技术光电子学声学物理砷化镓
网址	https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2024.110792
DOI	10.1016/j.mtcomm.2024.110792 doi
其它	期刊：Materials Today Communications 作者：Бо Лю; Chen Li; Yuxiu Hu; О. В. Захаров; Hailong Cui; et al 出版日期：2024-10-01
求助人	LiZhengzhao 在 2024-11-04 10:27:23 发布自北京，悬赏 10 积分
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