5 NM FIN SAQP Process Development and Key Process Challenge Discussion

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标题	5 NM FIN SAQP Process Development and Key Process Challenge Discussion 5纳米鳍片SAQP工艺开发和关键工艺挑战讨论相关领域多重图案鳍光刻临界尺寸过程（计算）钥匙（锁）材料科学进程窗口蚀刻（微加工）极紫外光刻平版印刷术生产线后端计算机科学逻辑门光电子学纳米技术电子工程图层（电子）工程类抵抗光学物理计算机安全复合材料操作系统
网址	https://doi.org/10.1109/cstic49141.2020.9282464
DOI	10.1109/cstic49141.2020.9282464 doi
其它	期刊：作者：Yushu Yang; Bowen Wang; Qiang Wu; Yanli Li; Yibo Wang; et al 出版日期：2020-06-26
求助人	梦醒心依然在 2024-11-06 00:09:52 发布自广东，悬赏 10 积分
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