Study on Ultra Precision Polishing of Single Crystal Diamond Substrates under Ultraviolet Irradiation

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标题	Study on Ultra Precision Polishing of Single Crystal Diamond Substrates under Ultraviolet Irradiation 单晶金刚石基板的紫外超精密抛光研究相关领域抛光钻石材料科学辐照表面粗糙度紫外线 Crystal（编程语言）单晶表面光洁度复合材料光学光电子学结晶学化学计算机科学物理核物理学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.407-408.355
DOI	10.4028/www.scientific.net/kem.407-408.355 doi
其它	期刊：Key Engineering Materials 作者：Satoru Anan; Mutsumi Touge; Akira Kubota; Junji Watanabe 出版日期：2009-02-01
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