AlN-based piezoelectric MEMS deformable mirror

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标题	AlN-based piezoelectric MEMS deformable mirror AlN基压电MEMS变形镜相关领域变形镜泽尼克多项式执行机构微电子机械系统材料科学光学叠加原理制作压电光圈（计算机存储器）自适应光学波前计算机科学光电子学声学物理人工智能医学替代医学病理量子力学复合材料
网址	https://doi.org/10.1364/ol.500972
DOI	10.1364/ol.500972 doi
其它	期刊：Optics Letters 作者：Junning Zhang; Xinyue Zhang; Yan Wang; Tunan Lv; Hongbin Yu 出版日期：2023-08-21
求助人	hl_sci 在 2024-09-26 17:09:19 发布自北京，悬赏 10 积分
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