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 Micromechanical Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer array package enhancement with integrated frontliners 具有集成前端的微机械压电微机械超声换能器阵列封装增强
相关领域
压电
超声波传感器
电容式微机械超声换能器
材料科学
传感器
PMUT公司
声学
表面微加工
光电子学
电气工程
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复合材料
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物理
医学
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病理
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Hongxiang Shu; Weiliang Ji; Xiangyu Sun; Zhanqiang Xing; Xu He 出版日期：2024-06-20 |
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