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Stress control in optical thin films by sputtering and electron beam evaporation
溅射和电子束蒸发光学薄膜的应力控制
相关领域
蒸发 溅射 材料科学 薄膜 电子束物理气相沉积 内应力 光学 压力（语言学） 沉积（地质） 溅射沉积 梁（结构） 复合材料 光电子学 纳米技术 物理 语言学 生物 热力学 哲学 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1364/ao.56.00c131
DOI
10.1364/ao.56.00c131 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Naoya Tajima; Hiroshi Murotani; Shigeharu Matsumoto; Hiromitsu Honda
出版日期：2016-12-09
求助人
沈无招 在 2024-11-27 12:01:14 发布自广东，悬赏 10 积分
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