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标题
A Novel Multiple Layers Overlay Run-to-Run Control Using New Algorithm Metrics for Logic Process
一种基于逻辑过程新算法度量的多层覆盖运行到运行控制
相关领域
覆盖 计算机科学 前馈 覆盖网 自动化 过程(计算) 控制(管理) 过程控制 算法 产品(数学) 分布式计算 控制工程 工程类 人工智能 操作系统 数学 互联网 机械工程 几何学
网址
DOI
10.1109/iwaps57146.2022.9972297 doi
其它 期刊:
作者:Xiaosong Yang; Hai Zhang; Dekun Huang; Duo Yu
出版日期:2022-10-21
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