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 Multi-objective optimization of 4H-SiC homoepitaxy chemical vapor deposition process fusing support vector machine with multiphysics simulations 融合支持向量机和多物理模拟的4H-SiC同质外延化学气相沉积工艺多目标优化
相关领域
多物理
材料科学
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沉积（地质）
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期刊：Materials Today Communications 作者：Jingjing Tian; Zhuorui Tang; Hongyu Tang; Jiajie Fan 出版日期：2025-01-01 |
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