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标题
A review of MEMS-based metal oxide semiconductors gas sensor in Mainland China
基于MEMS的金属氧化物半导体气体传感器研究进展
相关领域
微电子机械系统 薄脆饼 纳米技术 材料科学 氟利昂 半导体 电气工程 工程类 光电子学 化学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/ac5b98
DOI
10.1088/1361-6439/ac5b98 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Gaoqiang Niu; Fei Wang
出版日期：2022-03-08
求助人
Taemy 在 2024-12-20 16:10:46 发布自北京，悬赏 10 积分
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