Long-Term Stability of SiNxThin-Film Barriers Deposited by Low Temperature PECVD for OLED

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标题	Long-Term Stability of SiNxThin-Film Barriers Deposited by Low Temperature PECVD for OLED OLED用低温PECVD沉积SiNxThin薄膜势垒的长期稳定性相关领域材料科学等离子体增强化学气相沉积相对湿度氮化硅分析化学（期刊）水蒸气体积流量俄歇电子能谱化学气相沉积硅纳米技术化学光电子学有机化学量子力学热力学物理核物理学
网址	https://doi.org/10.1149/2.0021605jss
DOI	10.1149/2.0021605jss doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Min Ho Oh; Eun Kil Park; Sung Min Kim; Jaeyeong Heo; Hyeong Joon Kim 出版日期：2016-01-01
求助人	array yield 在 2024-02-19 14:55:03 发布自湖北，悬赏 10 积分
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