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Synergistic effect of Si concentration and distribution on ferroelectric properties optimization of Si:HfO2 ferroelectric thin films
Si浓度和分布对Si:HfO2铁电薄膜铁电性能优化的协同效应
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期刊:Journal of Physics: Condensed Matter 作者:Yanping Shao; Wanting Yang; Yuanyao Wang; Yuhui Deng; Ningtao Liao; et al 出版日期:2022-07-29 |
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