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Effect of oxidation temperature on the inhomogeneity of chemical composition and density in nanometric SiO2 films grown on 4H-SiC
氧化温度对4H-SiC纳米SiO2薄膜化学成分和密度不均匀性的影响
相关领域
材料科学 化学成分 X射线反射率 化学状态 热氧化 氧气 化学工程 热的 X射线光电子能谱 薄膜 纳米技术 图层（电子） 热力学 工程类 有机化学 化学 物理
网址
https://doi.org/10.1039/d0tc05988a
DOI
10.1039/d0tc05988a doi
其它 期刊：Journal of Materials Chemistry C
作者：P. Kamiński; Rafał Budzich; J. Gaca; Paweł Piotr Michałowski; R. Kozłowski; et al
出版日期：2021-01-01
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兔兔不吐泡泡 在 2024-11-27 14:42:27 发布自江苏，悬赏 10 积分
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