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标题
Relative lifetime estimation of EUV pellicle by normalized thermal stress
用归一化热应力估算EUV薄膜的相对寿命
相关领域
极紫外光刻 压力（语言学） 估计 热的 材料科学 计算机科学 物理 光电子学 工程类 热力学 语言学 哲学 系统工程
网址
https://doi.org/10.1117/12.3038648
DOI
10.1117/12.3038648 doi
其它 期刊：
作者：Ji-Hyun Jeon; Jiwon Kang; Hee-Chang Ko; Seung Woo Son; Hye-Keun Oh
出版日期：2024-09-30
求助人
hyelachan 在 2024-11-27 15:04:10 发布自重庆，悬赏 20 积分
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