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标题
Mechanism of the Adhesive Interaction of Diazoquinone-Novolac Photoresist Films with Monocrystalline Silicon
重氮醌-酚醛光刻胶膜与单晶硅的粘附作用机理
相关领域
光刻胶 单晶硅 薄脆饼 硅 材料科学 硼 傅里叶变换红外光谱 氧化硅 氧化物 图层（电子） 胶粘剂 光化学 化学工程 高分子化学 化学 纳米技术 有机化学 光电子学 冶金 氮化硅 工程类
网址
https://doi.org/10.1007/s10812-020-01049-4
DOI
10.1007/s10812-020-01049-4 doi
其它 期刊：Journal of Applied Spectroscopy
作者：С. Д. Бринкевич; E. V. Grinyuk; Д. И. Бринкевич; Р. Л. Свердлов; В. С. Просолович; et al
出版日期：2020-09-01
求助人
虚心盼夏 在 2025-02-13 21:38:55 发布自上海，悬赏 10 积分
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