Directional growth of nanocrystalline Si nanorod array by mid-frequency magnetron sputtering

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标题	Directional growth of nanocrystalline Si nanorod array by mid-frequency magnetron sputtering 中频磁控溅射定向生长纳米晶Si纳米棒阵列相关领域纳米晶材料纳米棒材料科学光电子学溅射溅射沉积脉冲直流偏压高功率脉冲磁控溅射纳米技术电压薄膜电气工程工程类
网址	https://doi.org/10.1002/pssa.201431703
DOI	10.1002/pssa.201431703 doi
其它	期刊：physica status solidi (a) 作者：Junhua Gao; Liang Wu; Chengjun Tu; Hongtao Cao; Aiping Jin 出版日期：2014-10-31
求助人	机智的白猫在 2025-01-15 16:31:26 发布自山东，悬赏 10 积分
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