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 Stress analysis by finite element method stress for (ZrO2/SiO2)2 anti-reflector multi-layer deposited with ion-assisted electron-gun evaporation 有限元应力分析离子辅助电子枪蒸发沉积（ZrO2/SiO2）2多层抗反射器的应力
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期刊： 作者：Chih-Yuan Chang; Hsi‐Chao Chen; Cheng-Shang Chang; Kun-Hong Chen; Cheng-En Cai; et al 出版日期：2022-12-08 |
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