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 Sensitivity enhancement and temperature compatibility of graphene piezoresistive MEMS pressure sensor 石墨烯压阻MEMS压力传感器的灵敏度增强和温度兼容性
相关领域
材料科学
微电子机械系统
石墨烯
压力传感器
光电子学
多物理
灵敏度（控制系统）
电阻式触摸屏
微系统
压阻效应
小型化
硅
纳米技术
电子工程
电气工程
机械工程
有限元法
工程类
结构工程
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