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 Controllable porous fluorinated polyimide thin films for ultralow dielectric constant interlayer dielectric applications 用于超低介电常数层间介电应用的可控多孔氟化聚酰亚胺薄膜
相关领域
材料科学
多孔性
聚酰亚胺
电介质
复合材料
微观结构
薄膜
化学工程
胶体二氧化硅
纳米技术
图层（电子）
光电子学
工程类
涂层
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