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 Influence of negative bias voltage on microstructure and property of Al-Ti-N films deposited by multi-arc ion plating 负偏置电压对多弧离子镀Al-Ti-N薄膜显微结构和性能的影响
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期刊：Ceramics International 作者：Fei Cai; Chen Mohan; Mingxi Li; Shihong Zhang 出版日期：2017-03-01 |
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