Characterization of light induced degradation in PECVD silicon nitride passivated Cz silicon wafers using spectroscopic techniques

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标题	Characterization of light induced degradation in PECVD silicon nitride passivated Cz silicon wafers using spectroscopic techniques 用光谱技术表征PECVD氮化硅钝化Cz硅片的光诱导退化相关领域等离子体增强化学气相沉积材料科学傅里叶变换红外光谱氮化硅硅薄脆饼分析化学（期刊）钝化载流子寿命化学工程光电子学纳米技术化学环境化学图层（电子）工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2023.102864
DOI	10.1016/j.surfin.2023.102864 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：E. Resmi; K.P. Sreejith; Anil Kottantharayil 出版日期：2023-06-01
求助人	董卓小蛮腰在 2024-09-09 15:23:52 发布自江苏，悬赏 10 积分
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