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 Structural optimization and growth of intrinsic hydrogenated amorphous silicon films by HWCVD 氢化学气相沉积本征氢化非晶硅薄膜的结构优化与生长
相关领域
非晶硅
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期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Hongchen Meng; X. Wu; Fa‐Jun Ma; Qingguo Zeng; Lang Zhou 出版日期：2024-07-01 |
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