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 Transient Thermal and Structural Deformation and Its Impact on Optical Performance of Projection Optics for Extreme Ultraviolet Lithography 瞬态热变形和结构变形及其对极紫外光刻投影光学器件光学性能的影响
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Ke Liu; Yanqiu Li; Fuchang Zhang; Mingzhe Fan 出版日期：2007-10-01 |
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