Selective Etching of SiO2 by Radical Recombination through NF3/H2 Pulsed RF Plasma - 科研通

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标题	Selective Etching of SiO2 by Radical Recombination through NF3/H2 Pulsed RF Plasma NF3/H2脉冲射频等离子体自由基复合选择性刻蚀SiO2 相关领域选择性蚀刻（微加工）等离子体材料科学反应离子刻蚀干法蚀刻等离子体刻蚀光电子学无线电频率分析化学（期刊）化学纳米技术物理生物化学图层（电子）量子力学电信色谱法计算机科学催化作用
网址	https://doi.org/10.1021/acsaelm.4c01828
DOI	10.1021/acsaelm.4c01828 doi
其它	期刊：ACS applied electronic materials 作者：Dae Whan Kim; Hong Seong Gil; Wonse Park; Ji Yeon Lee; Doo San Kim; et al 出版日期：2024-12-20
求助人	芬里尔在 2025-04-21 17:49:08 发布自上海，悬赏 10 积分
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