Subwavelength grating structure with high aspect ratio and tapered sidewall profiles

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标题	Subwavelength grating structure with high aspect ratio and tapered sidewall profiles 具有高纵横比和锥形侧壁轮廓的亚波长光栅结构相关领域栅栏材料科学导模共振光子学制作光学共振（粒子物理）光电子学衍射光栅闪耀光栅蚀刻（微加工）激光器纳米技术物理粒子物理学病理替代医学医学图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.1557/adv.2015.32
DOI	10.1557/adv.2015.32 doi
求助人	TheTOPTOP 在 2025-03-04 09:30:54 发布自湖北，悬赏 10 积分
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