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标题
Monolithic and heterogeneous three-dimensional integration of two-dimensional materials with high-density vias
具有高密度通孔的二维材料的单片和异质三维集成
相关领域
材料科学 工程物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1038/s41928-024-01251-8
DOI
10.1038/s41928-024-01251-8 doi
其它 期刊：Nature electronics
作者：Subir Ghosh; Yikai Zheng; Zhiyu Zhang; Yongwen Sun; Thomas F. Schranghamer; et al
出版日期：2024-10-09
求助人
海叔 在 2024-10-19 10:12:23 发布自中国，悬赏 10 积分
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