An Investigation of Field-Effect Passivation Layer Characteristics Using Second Harmonic Generation Measurement

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标题	An Investigation of Field-Effect Passivation Layer Characteristics Using Second Harmonic Generation Measurement 利用二次谐波产生测量研究场效应钝化层特性相关领域钝化分析化学（期刊）强度（物理） X射线光电子能谱杂质图层（电子）材料科学拓扑（电路）光电子学化学光学物理纳米技术电气工程核磁共振有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2019.2949003
DOI	10.1109/tsm.2019.2949003 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Sung-Kun Park; Lei Ming; Youngwoong Do; Minki Choi; Jong‐Hun Kim 出版日期：2019-10-22
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