Preferentially etched diffraction gratings in silicon - 科研通

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标题	Preferentially etched diffraction gratings in silicon 硅中优先蚀刻衍射光栅相关领域硅衍射制作蚀刻（微加工）材料科学光学衍射光栅衍射效率光电子学几何光学纳米技术物理医学病理替代医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1063/1.321859
DOI	10.1063/1.321859 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：W. T. Tsang; Shyh Wang 出版日期：1975-05-01
求助人	su 在 2024-02-24 10:38:38 发布自河北，悬赏 10 积分
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