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标题
Effects of deposition conditions on the ferroelectric properties of (Al1−xScx)N thin films
沉积条件对(Al1-xSCx)N薄膜铁电性能的影响
相关领域
铁电性 材料科学 薄膜 电介质 极化(电化学) 分析化学(期刊) 溅射沉积 溅射 光电子学 纳米技术 化学 色谱法 物理化学
网址
DOI
10.1063/5.0015281 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Shinnosuke Yasuoka; Takao Shimizu; Akinori Tateyama; Masato Uehara; Hiroshi Yamada; et al
出版日期:2020-09-18
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king 在 2024-12-17 16:32:19 发布自湖北,悬赏 10 积分
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