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Effects of deposition conditions on the ferroelectric properties of (Al1−xScx)N thin films
沉积条件对(Al1-xSCx)N薄膜铁电性能的影响
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Shinnosuke Yasuoka; Takao Shimizu; Akinori Tateyama; Masato Uehara; Hiroshi Yamada; et al 出版日期:2020-09-18 |
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