(Invited) Fan-out and Cu- Compatible Dielectric Processing of Low Temperature Polyimides for Next-Generation 3D Advanced IC Back End Applications

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标题	(Invited) Fan-out and Cu- Compatible Dielectric Processing of Low Temperature Polyimides for Next-Generation 3D Advanced IC Back End Applications （特邀）用于下一代3D高级IC后端应用的低温聚酰亚胺的扇出和铜兼容介电处理相关领域电介质材料科学电气工程工程物理光电子学机械工程复合材料工程制图电子工程工程类
网址	https://doi.org/10.1149/ma2021-0214660mtgabs
DOI	10.1149/ma2021-0214660mtgabs doi
其它	期刊：Meeting abstracts 作者：Zia Karim; Ken Sautter; Kay Song 出版日期：2021-10-19
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