Slicing of 4H‐SiC Wafers Combining Ultrafast Laser Irradiation and Bandgap‐Selective Photo‐Electrochemical Exfoliation

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标题	Slicing of 4H‐SiC Wafers Combining Ultrafast Laser Irradiation and Bandgap‐Selective Photo‐Electrochemical Exfoliation 超快激光辐照和带隙选择性光电化学剥离相结合的4H-SiC晶片切片相关领域材料科学光电子学飞秒薄脆饼带隙蚀刻（微加工）激光器剥脱关节无定形固体辐照碳化硅晶片切割钝化图层（电子）纳米技术光学复合材料石墨烯化学物理有机化学核物理学
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdfdirect/10.1002/admi.2... AI链接 wiley.com wiley.comdoi.org
DOI	10.1002/admi.202300200 doi
其它	期刊：Advanced Materials Interfaces 作者：Wenhao Geng; Qinqin Shao; Yan Pei; Lingbo Xu; Can Cui; et al 出版日期：2023-06-30
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