Effect of heater structure on oxygen concentration in large diameter n-type Czochralski silicon study using numerical simulation

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标题	Effect of heater structure on oxygen concentration in large diameter n-type Czochralski silicon study using numerical simulation 加热器结构对大直径n型直拉硅氧浓度影响的数值模拟研究相关领域材料科学硅氧气直拉法光电子学化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.applthermaleng.2024.124334
DOI	10.1016/j.applthermaleng.2024.124334 doi
其它	期刊：Applied Thermal Engineering 作者：Liang Zhao; Tai Li; Zhenling Huang; Xiang Zhou; Jiaming Kang; et al 出版日期：2024-09-01
求助人	漫漫长夜在 2024-09-27 19:41:40 发布自云南，悬赏 10 积分
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