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![]() 氢等离子体处理对以有机可溶性硅团簇为前驱体形成非晶硅薄膜的影响
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Akira Watanabe; Masashi Unno; Fusao Hojo; Takao Miwa 出版日期:2000-10-01 |
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