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 Highly sensitive lateral deformable optical MEMS displacement sensor: anomalous diffraction studied by rigorous coupled-wave analysis 高灵敏度横向变形光学MEMS位移传感器：通过严格耦合波分析研究异常衍射
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期刊：Applied Optics 作者：Chen Wang; Qianbo Lu; Jian Bai; Guoguang Yang; Kaiwei Wang; et al 出版日期：2015-10-14 |
| 求助人 | |
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