A study of greyscale electron beam lithography for a 3D round shape Kinoform lens for hard X-ray optics

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标题	A study of greyscale electron beam lithography for a 3D round shape Kinoform lens for hard X-ray optics 硬X射线光学用三维圆形Kinoform透镜的灰度电子束光刻研究相关领域光学抵抗镜头（地质）平版印刷术超透镜材料科学电子束光刻灰度物理纳米技术折射率像素图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2020.111435
DOI	10.1016/j.mee.2020.111435 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Xujie Tong; Chen Xu; Jiancai Zhu; Chengwen Mao; Xiangjun Zhen; et al 出版日期：2020-10-01
求助人	巫傲柔在 2024-07-24 08:49:46 发布自重庆，悬赏 10 积分
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