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An ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA) surface-functionalized CeO2 composite abrasives with the effective improvement of the removal rate on glass CMP
有效提高玻璃CMP去除率的乙二胺四乙酸(EDTA)表面官能化CeO2复合磨料
相关领域
乙二胺四乙酸
材料科学
铈
氧化铈
接触角
表面改性
化学机械平面化
复合数
X射线光电子能谱
氧化物
化学工程
抛光
无机化学
核化学
螯合作用
冶金
复合材料
化学
工程类
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期刊:Ceramics International 作者:Xiaoyue Yuan; Hong Lei; Chuandong Chen 出版日期:2024-01-01 |
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