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标题
An ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA) surface-functionalized CeO2 composite abrasives with the effective improvement of the removal rate on glass CMP
有效提高玻璃CMP去除率的乙二胺四乙酸(EDTA)表面官能化CeO2复合磨料
相关领域
乙二胺四乙酸 材料科学 氧化铈 接触角 表面改性 化学机械平面化 复合数 X射线光电子能谱 氧化物 化学工程 抛光 无机化学 核化学 螯合作用 冶金 复合材料 化学 工程类
网址
DOI
10.1016/j.ceramint.2023.10.103 doi
其它 期刊:Ceramics International
作者:Xiaoyue Yuan; Hong Lei; Chuandong Chen
出版日期:2024-01-01
求助人
龙龙 在 2024-03-06 16:24:49 发布自山西,悬赏 10 积分
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