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Utilizing mechanical micro-lever coupling structure to enhance sensitivity in mode-localized MEMS accelerometer
利用机械微杆耦合结构提高模局域MEMS加速度计灵敏度
相关领域
谐振器
有限元法
加速度计
材料科学
谐振器耦合系数
杠杆
灵敏度(控制系统)
微电子机械系统
联轴节(管道)
声学
电子工程
光电子学
工程类
物理
结构工程
机械工程
量子力学
冶金
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期刊:Sensors and actuators. A, Physical 作者:Zheng Wang; Xingyin Xiong; KunFeng Wang; Yang Wang; Bowen Wang; et al 出版日期:2023-03-01 |
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