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标题
Utilizing mechanical micro-lever coupling structure to enhance sensitivity in mode-localized MEMS accelerometer
利用机械微杆耦合结构提高模局域MEMS加速度计灵敏度
相关领域
谐振器 有限元法 加速度计 材料科学 谐振器耦合系数 杠杆 灵敏度(控制系统) 微电子机械系统 联轴节(管道) 声学 电子工程 光电子学 工程类 物理 结构工程 机械工程 量子力学 冶金
网址
DOI
10.1016/j.sna.2023.114172 doi
其它 期刊:Sensors and actuators. A, Physical
作者:Zheng Wang; Xingyin Xiong; KunFeng Wang; Yang Wang; Bowen Wang; et al
出版日期:2023-03-01
求助人
房东 在 2024-04-22 11:06:32 发布自重庆,悬赏 10 积分
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