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 Rapid Thermal Annealing Process Toward Enhancement of ITO Thin Films 增强ITO薄膜的快速热退火工艺
相关领域
材料科学
薄膜
退火（玻璃）
结晶度
氧化铟锡
电子束物理气相沉积
微晶
透射率
氧化物
表面粗糙度
复合材料
光电子学
冶金
纳米技术
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| 其它 |
期刊：Key engineering materials 作者：R.I.M. Asri; Nur Atiqah Hamzah; M.A. Ahmad; Madia Sahar; Muhd Azi Che Seliman; et al 出版日期：2023-05-25 |
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