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 Pulsed Laser Grooving of Silicon Under Different Ambient Media 不同环境介质下硅的脉冲激光切槽
相关领域
材料科学
扫描电子显微镜
轮廓仪
薄脆饼
硅
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期刊：Lasers in Manufacturing and Materials Processing 作者：Tushar Ner; Pinal Rana; Deepak Marla 出版日期：2023-10-13 |
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