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标题
Atmospheric pressure spatial ALD of Al2O3 thin films for flexible PEALD IGZO TFT application
用于柔性PEALD IGZO TFT的Al2O3薄膜的大气压空间ALD
相关领域
材料科学 薄膜晶体管 原子层沉积 光电子学 大气压力 阈值电压 绝缘体（电） 基质（水族馆） 薄膜 晶体管 复合材料 图层（电子） 电压 纳米技术 电气工程 工程类 地质学 海洋学
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.03.157
DOI
10.1016/j.ceramint.2022.03.157 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Kwang Su Yoo; Dong-Gyu Kim; Seung Hwan Lee; Won-Bum Lee; Jin‐Seong Park
出版日期：2022-07-01
求助人
lulu 在 2024-12-04 11:17:27 发布自广东，悬赏 10 积分
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