| 标题 |
 Semidamascene Interconnects for 2nm node and Beyond 用于2nm节点及以上的半镶嵌互连
相关领域
铜互连
材料科学
蚀刻（微加工）
互连
光电子学
可靠性（半导体）
洁净室
节点（物理）
化学机械平面化
电介质
电子工程
电气工程
图层（电子）
计算机科学
纳米技术
工程类
电信
功率（物理）
物理
结构工程
量子力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊： 作者：Gayle Murdoch; Zsolt Tőkei; Sara Paolillo; O. Varela Pedreira; Kris Vanstreels; et al 出版日期：2020-10-05 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
不配.
含蓄的明雪
苏卿
哎嘿
暮霭沉沉
互助遵法尚德
iNk
吃不饱星球球长
pcr163
彭于彦祖
从容芮
HEIKU
薰硝壤
Henry
tuanheqi
Yziii
加湿器
Loooong
乐乐乐乐乐乐
大有阳光
皖公网安备34019202002308
