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 Modeling of a square-shape ZnO, ZnS and AlN membrane for mems capacitive pressure-sensor applications 用于mems电容式压力传感器的方形ZnO、ZnS和AlN膜的建模
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期刊：International Journal for Simulation and Multidisciplinary Design Optimization 作者：Ahmad Dagamseh; Qais M. Al‐Bataineh; Zaid Albataineh; Nermeen S. Daoud; Ahmad Alsaad; et al 出版日期：2020-01-01 |
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