标题 |
Thin‐Film PVD: Materials, Processes, and Equipment
薄膜PVD:材料、工艺和设备
相关领域
溅射
薄膜晶体管
材料科学
物理气相沉积
基质(水族馆)
光电子学
薄膜
合金
平板显示器
铟
氧化物
镓
晶体管
图层(电子)
冶金
纳米技术
电气工程
工程类
电压
地质学
海洋学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Tetsuhiro Ohno 出版日期:2018-08-06 |
求助人 | |
下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|