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 P‐265: Tailoring SS of a‐IGZO TFT through Defect Formation Mechanism during PEALD Deposition Sequences P-265：在PEALD沉积序列期间通过缺陷形成机制定制a-IGZO TFT的SS
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期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers 作者：Seong Hun Yoon; Jae Seok Hur; Seon Woong Bang; Jae Kyeong Jeong 出版日期：2024-06-01 |
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