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 Research on the Piezoelectric Properties of AlN Thin Films for MEMS Applications 用于微机电系统的AIN薄膜的压电性能研究
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期刊：Micromachines 作者：Meng Zhang; Jian Yang; Chaowei Si; Guowei Han; Yongmei Zhao; et al 出版日期：2015-09-01 |
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