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 Atomic layer deposition of Y2O3 as high-k dielectrics by using a heteroleptic yttrium precursor and water 异质钇前驱体和水原子层沉积Y2O3作为高k电介质
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期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Younian Tang; Yifan Liu; Zhixin Wan; Bin Xi 出版日期：2024-04-21 |
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